标签：EUV光刻机

三星电子在得州泰勒逻辑厂启动EUV光刻机调试工作

三星电子在美国得克萨斯州泰勒市的2nm晶圆厂已开始试运营，EUV光刻机的测试已启动，主要的蚀刻和沉积设备也正在分阶段导入。这为今年内的初步运营和2027年的...

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