三星电子在得州泰勒逻辑厂启动EUV光刻机调试工作

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三星电子在美国得克萨斯州泰勒市的2nm晶圆厂已开始试运营。EUV光刻机的测试工作已经启动,同时蚀刻和沉积流程的关键设备也在分阶段引入。这一系列举措旨在为今年的初步运营和2027年的全面投产奠定基础。(财联社)

三星电子在得州泰勒逻辑厂启动EUV光刻机调试工作的封面图

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