三星电子为平泽P5晶圆厂PH1阶段采购70余台光刻机

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报道称,三星电子已向平泽半导体生产基地P5晶圆厂集群的首个阶段PH1订购超过70台光刻机,旨在为2027年的投运做好准备。此批光刻机由ASML和佳能供应,其中约20台为ASML的EUV曝光系统。P5 PH1将专注于1c nm制程的DRAM生产,同时制造通用内存和高带宽内存(HBM)。

三星电子为平泽P5晶圆厂PH1阶段采购70余台光刻机的封面图

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