台积电副共同营运长张晓强于4月22日表示，公司目前没有计划使用阿斯麦的最新高数值孔径极紫外光刻机（High-NA EUV），该设备单台价格超过3.5亿欧元。他透露，...
三星电子已为其平泽半导体生产基地P5晶圆厂的首个阶段PH1订购70余台光刻机，以备2027年投运。这些光刻机来自ASML和佳能，其中约20台为ASML的极紫外（EUV）曝...
台积电高管透露：暂不引进阿斯麦最新光刻机
台积电副共同营运长张晓强于4月22日表示，公司目前没有计划使用阿斯麦的最新高数值孔径极紫外光刻机（High-NA EUV），该设备单台价格超过3.5亿欧元。他透露，...
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