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标签:EUV设备
台积电高管透露:暂不引进阿斯麦最新光刻机
台积电副共同营运长张晓强于4月22日表示,公司目前没有计划使用阿斯麦的最新高数值孔径极紫外光刻机(High-NA EUV),该设备单台价格超过3.5亿欧元。他透露,...
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台积电高管透露:暂不引进阿斯麦最新光刻机
台积电副共同营运长张晓强于4月22日表示,公司目前没有计划使用阿斯麦的最新高数值孔径极紫外光刻机(High-NA EUV),该设备单台价格超过3.5亿欧元。他透露,...
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