标签：高数值孔径

台积电高管透露：暂不引进阿斯麦最新光刻机

台积电副共同营运长张晓强于4月22日表示，公司目前没有计划使用阿斯麦的最新高数值孔径极紫外光刻机（High-NA EUV），该设备单台价格超过3.5亿欧元。他透露，...

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