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中微公司发布四款新产品，助力硅基与化合物半导体关键工艺升级

在SEMICON China 2026期间，中微半导体设备（上海）股份有限公司推出了四款新产品，涵盖硅基及化合物半导体的关键工艺。这些新产品包括新一代电感耦合ICP等离...

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